高精密半导体高新技术企业SIMAXAT

高精密半导体设备高新技术中外合资企业--矽万(上海)半导体科技有限公司与中国国际科技促进会证卡票签专业委员会首次达成合作。

矽万(SIMAXAT)将倾力参与中国国际防伪溯源技术展览会(Track-Tech)及天鉴科技-第十七届证卡票签安全识别技术展览会暨高峰论坛(SDS),届时公司将于活动现场全方位展示旗下最新技术与产品。

展位号:B-

矽万(上海)半导体科技有限公司

诚邀您莅临第十七届SDS及

中国国际防伪溯源技术展览会

展位号:B-

与您相约北京国家会议中心

不见不散

矽万(上海)半导体科技有限公司是一家致力于设计、研发、生产、销售和服务高精密半导体设备的高新技术中外合资企业。我们专注于为客户提供PicoMaster无掩模激光直写光刻机,包括设备的安装调试、工艺改进、软件开发、以及可选配的涂胶显影清洗设备等。我们的产品和服务主要应用于全息防伪、半导体、微纳光学器件、掩模版制作、光学衍射器件、微流控芯片、MEMS器件等领域。高频光栅周期最小至nm;最小线宽nm;大幅面光刻至mmXmm。

公司注册于上海浦东国家自由贸易区,在上海设有技术服务中心,在荷兰设有生产研发中心,其母公司为注册在香港的SimaxAsiaPacificLimited。我们已于年和年分别在深圳和武汉建立了演示中心;上海演示中心已于年3月建成并投入使用。演示中心将在3D光刻软件开发、客户定制设计、客户工艺改进等方面发挥巨大作用。

我们以“品质创造价值,服务实现共赢”为经营理念。通过先进的技术,严格的质量管控,为客户提供完整的高品质解决方案。

产品介绍

产品一:PicoMasterXF-H

PicoMasterXF-H是一款具有超高精度的多功能紫外激光直写设备,它具有每毫米超过条线的输出能力,特别适合用户在光敏层上自由地创造微结构。独有的全息设计软件,提供了许多预先安装的全息效果及其光栅、结构的运算方法,它们可以很轻松地将把这些效果组合起来,十分利于用户的产品开发。同时软件也允许用户添加自己的算法和结构,来定制数据库、完善产品设计。

√使用GLV(GratingLightValve)技术实现高速并行直写

√直写速度:平方毫米/分钟

nm精度

√可实现高达个单位像素的激光束并行直写

√支持最大mmxmm激光直写面积

√选择关闭灰度写入功能,直写速度将提升2倍

√构建独立设计库,可完成最高自由度的3D光刻

√支持标准图像信息源、个性化3D设计源写入

√可定制更大幅面的无掩模激光直写系统解决方案

产品二:PicoMaster

PicoMaster是一款具有超高精度组件的多功能紫外激光写入器,专为用户提供在感光层中创建最高自由度的微结构而设计。系统的光栅化工作原理,搭配上高速扫描以及可调螺距步进激光头,确保了整个曝光制程在感光层表面准确而稳定地完成。

系统优点:

√支持高达级的灰度、纯二进制模式;

√对准精度最高小于纳米,线宽均匀性小于50纳米;

√最大支持9英寸基版,毫米/秒扫描速度,x毫米曝光面积;

√采取全封闭结构设计,必需的部件、控制架构和真空泵都在外壳内,便于快速安装;

√连接到空气温度调节器机组开始供应空调空气时,内置堆式过滤器将产生干净的交叉气流;

√运动平台由机械缓振系统支撑,它将过滤掉绝大多数的噪音振动,确保工作时的振动最小。

产品三:PicoMaster

PicoMaster采用波长纳米二极管激光器,它拥有市场上最小的纳米激光分辨率。升级纳米激光源,可以更好地兼容市面上I-line光刻胶材,从而满足更高级别的应用需求。备用光学模块,将革命性的降低机器停机时间。更为人性化的软件设计,大大提升了用户实际操作效率,它将是您科学研究、实验开发、设计创新,理想的光学伙伴。√使用纳米(可升级纳米)激光源在感光层上曝光,不需订购或制作掩模,图案可随用户设计而改变;√不使用掩模版,只需在基版上涂胶后用紫外激光聚焦进行曝光,系统的标准作业方法就像点阵打印机一次一行;√激光按设计写入线条进行的曝光,类似激光切割机或绘图仪工作模式,只有单点系统才能进行矢量书写。


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